渗碳 Case hardening是使金属物体表面硬化的过程，同时保持深层部分保持柔软，从而在金属表面形成一层硬化层。渗碳淬火处理的物体和穿透式淬火Through hardening相比有更好的耐冲击、耐磨损性能。
渗碳典型工艺步骤
将真空炉室由大气压抽至10-1或10-2 mbar 除氧 . 氮气保护氛围下通过对流的方式将工件加热至 750°C.真空条件下进一步加热至渗碳温度 。渗碳阶段，开始掺气，工作压强10 到 20 mbar，相同温度和压强下进行扩散工艺。
低压/真空渗碳对真空系统的挑战
使用不同气体对真空系统的影响不同；
稳定的真空性能
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