氦检质谱漏仪的工作原理

氦检质谱漏仪可查找漏点位置并测定漏率（通过漏孔的气体流量）。因此，氦质谱检漏仪是一台氦流量计。

检漏仪在工作过程中首先是对试验对象进行抽真空，来形成压差使外部气体穿过漏孔进入检漏仪。检漏仪利用内置氦质谱仪测量进入检漏仪气体氦分压并将测量结果转换为漏率显示。显示值单位一般采用流量单位。

重要技术规范

测量范围和响应时间是检漏仪的两个重要的参数。

测量范围用小和可检漏率限定。

小可检漏率用灵敏的测量范围系统的漂移与噪声之和定义。每分钟内系统噪声幅度和零点漂移相加就可以得到低可检漏率。检漏仪的零点漂移量非常小，所以一般仅采用噪声幅度就可以确定检漏仪的小可检漏率。可检漏率依赖于所采用的检漏方法，利用逆流法和分流法（参见下面的说明）可以测量非常大的漏率。此外，检漏仪内部的多级高阻抗输入开关放大器也能提高检漏仪测量大漏的能力。在实际的检漏操作过程中特别是查找漏点的时候，响应时间十分重要。该时间指从用氦气喷吹试验对象直到检漏仪显示测量值所用的时间。电子信号调节电路系统的响应时间是总响应时间的重要组成部分。对于检漏仪来说，电气系统的响应时间远小于1秒。

检漏设备对氦的有效抽速决定了氦气通过漏孔进入检漏仪的时间（如果检漏设备没有辅助抽空的系统，检漏仪内置的真空泵的大小会影响系统的响应时间）。检漏系统的响应时间可根据下面的简单公式计算：

氦响应时间 

(达到实际漏率95%的时间)

其中 V = 试验对象容积

S_He = 检漏系统对氦的有效抽速。

用标准漏孔校准检漏仪

检漏工艺要求准确地区分漏与不漏的试用对象，避免任何失误。这就需要由标准漏孔（能产生已知氦漏率的人工漏孔）作为检漏设备的基准。为了获得准确的漏率数据，必须使用标准漏孔对校准检漏仪进行校准。

莱宝真空可以提供采用不同原理设计的漏率范围10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦标准漏孔。所有标准漏孔的漏率都可以追溯到PTB（ 联邦物理技术协会） 和

DAKKS认证认可的标准。根据客户的要求， 每个氦标准漏孔都可以提供由DAkkS认证认可委员会颁发的校准证书。校准工作由莱宝真空在PTB授权的DAKKS校准实验室完成。

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