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THERMOVAC 变送器 真空计 TTR 911 N、TTR 911 N S、TTR 911 N C、 TTR 911 N SC

THERMOVAC 变送器 真空计 TTR 911 N、TTR 911 N S、TTR 911 N C、 TTR 911 N SC

说明  TTR 911 N  THERMOVAC 系列真空变送器可提供从 5×10-5 到 1000 毫巴的较大测量范围，基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性的测量结果。  配备 RS232 数字通信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 数字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的变送器版本可...

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说明 

 

TTR 911 N  THERMOVAC 系列真空变送器可提供从 5×10-5 到 1000 毫巴的较大测量范围，基于对 MEMS Pirani 硅芯片传感器上小空腔中的热传导性的测量结果。 

 

配备 RS232 数字通信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 数字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的变送器版本可设置变送器参数，并可提供实时压力测量结果。更多详情，请参阅通信协议 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配备集成式触屏显示器 (P/N: 8965402、89656V029) 的变送器版本能够监控基本的变送器参数。更多详情，请参阅第 6.4 章。 

 

TTR 911 N  THERMOVAC 变送器用途广泛，可用作独立装置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 变送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。 

 

每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外，每个变送器压力读数均在指定操作温度范围内逐一得到温度补偿。 

 

变送器拥有多达三个机械继电器，这些继电器可用于过程控制，例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备，用于获取压力读数，或进行压力控制。 

 

传感器技术 

变送器具备单独的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统)) 传感器元件，元件测量基于热传导性。MEMS Pirani 传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片，其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状，空腔内无法进行对流，因此，传感器对安装位置并不敏感。通过扩散，气体分子只到达热元件，在此处可测量气体的热损耗。传感器元件极为坚固耐用，可承受较高重力和瞬间空气涌入。 

 

应用 

变送器可用于众多不同领域的真空应用中，如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:

· 一般真空压力测量  

· 前级管道和粗抽压力测量 

· 气体回填测量和控制 

· 质谱仪控制 

· 启动超高真空电离 (UHV) 规 

· 系统过程控制 

· 检测异常压力，利用继电器设定点采取妥当的安全措施 

· 控制系统压力 

 

 

P/N: 89656V02 和 230701V02 含有 Parylene-HT®涂层传感器。  

Parylene-HT®是保形涂层，气体阻隔性绝佳，不释气。与标准 MEMS Pirani 相比，Parylene-HT®涂层传感器对各种腐蚀性气体的耐受性更强。涂层覆盖整个传感器芯片，包括接线。因此，暴露于处理气体的唯一材料只有 Parylene-HT®涂层。 如需更多详情，请联系应用支持部门。 

 

废弃处理 

TTR 911 N  变送器是根据 RoHS (在电子电气设备中限制使用某些有害物质) 指令制造的。 


技术数据

测量原理: 热传导性依据 MEMS Pirani 传感器而定 

测量范围 (N2 和空气):  5×10-5 至 1000 毫巴






精确度(1) (N2):

5×10-4 至 1x10-3 毫巴:

误差是读数的 

±10%



1×10-3 至 100 毫巴:

误差是读数的 

±5%



100 至 1000 毫巴:

误差是读数的 

±25%



重复性(1) (N2):

1×10-3 至 100 毫巴:

误差是读数的  

±2%



电源电压:

9-30 伏直流 


功耗:

< 1.2 瓦 


熔丝 (热可恢复):

200 毫安 


模拟输出 (100 欧阻抗):

0.61-10 伏直流，Log. 1.286 伏直流/十进制 


模拟输出分辨率:

16 位 


模拟输出更新率:

16 赫兹 


传感器故障，模拟输出:  

0.5 伏 





材料暴露于真空(2):



P/N: 89654V02、89660V02、230700V02:

304 号不锈钢、密封材料 FPM


P/N: 89656V02、230701V02:

304 号不锈钢、密封材料 FPM、Parylene-HT®





机械设定点继电器:



P/N: 89660V02:

3


P/N: 89654V02、89656V02:

2





设定点继电器范围:

2×10-4 至 1000 毫巴 


设定点继电器触点额定值:

1 安/30 伏直流/交流 (电阻性负载)


设定点继电器响应时间:

< 100 毫秒 


设定点继电器触点电阻:

100 毫欧 (最大值)


设定点继电器触点耐久性:

100000 循环 (最小值) (30 伏直流/1 安负载)


设定点继电器触点耐久性:  

2000000 循环 (最小值) (30 伏直流/0.2 安负载)





软件设定点继电器:



P/N: 230700V02、230701V02:

2



数字接口循环时间 

1 毫秒 



内部容积:

KF16:

2.80 厘米3 





外壳材质:

304 号不锈钢 



重量:



P/N: 89654V02、89656V02:

292 克 


P/N: 89660V2:

168 克 


P/N: 230700V02、230701V02:

338 克 



最大允许压力:

6 巴  


运行温度:

0 至 40 °C (32 至 104 °F)


烘烤温度 (电源关闭):

85 °C (185 °F)


灯丝温度:

超过室温 35 °C


异物防护等级:

IP40


泄漏速率:

< 5∙0-9 毫巴∙升/秒 


 

(1) 精确度和重复性数值是零位调整后在室温氮气氛下测得的典型数值。 

(2) 如需暴露于处理气体的所有材料的完整列表，请联系LEYBOLD。 


Parylene-HT®是Specialty Coating Systems, Inc 的商标。 


配件和备件编号


零件 

 

产品号 

TTR 911 N，DN16 KF，Display，2SP

89654V02

TTR 916 N C，DN16 KF，Display，2SP

89656V02

TTR 911 N，DN16 KF，RS232

89660V02

TTR 911 N，DN16 KF，EtherCat

230700V02

TTR 911 N C，DN16 KF，EtherCat

230701V02

备用传感器 TTR 911 N/TTR 916 N，DN16 KF

230650V02

备用传感器 TTR 911 N C/TTR 916 N C，DN16 KF

230651V02



Display 1

230001

Display 2

230024

Display 3

230025



Graphix 1

230680V01

Graphix 2

230681V01

Graphix 3

230682V01



A 型电缆，5 米 

12426

A 型电缆，10 米 

230012

A 型电缆，15 米 

12427

A 型电缆，20 米 

12428

A 型电缆，30 米 

12429

A 型电缆，50 米 

12431

A 型电缆，75 米 

12432

A 型电缆，100 米 

12433



螺旋管 DN 16 ISO-KF

230082



定心环 (1.4305 号不锈钢)，含 O 型环，DN16 KF

88346

定心环 (不锈钢)，含烧结金属过滤器，DN16 KF

88351

卡环 (铝)，DN16 KF

18341

定心环，含细滤器 DN16 KF

88396 

更多信息请联系莱宝官方授权：安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com

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