产品/Leybold
LEYSPEC view 100 残余气体分析仪RGA
秉承莱宝Phoenix氦质普检漏仪精准、稳定、长使用寿命等优点，莱宝真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA残余气体分析仪，为半导体 、镀膜、冷冻干燥、热处理及科研等行业提供了更多的过程控制分析诊断支持.莱宝LEYSPEC残余气体分析仪RGA的典型用途:检漏判断真空品质检测工艺气体提高品质和良品率故障诊断分析判断低温泵再生周期产品类别 产品系列分别提供了100、200、300原子质量单位的解决方案。LEYSPEC view版特别适用于高真空设备，科研、环境气氛...
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秉承莱宝Phoenix氦质普检漏仪精准、稳定、长使用寿命等优点，莱宝真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA残余气体分析仪，为半导体 、镀膜、冷冻干燥、热处理及科研等行业提供了更多的过程控制分析诊断支持.
莱宝LEYSPEC残余气体分析仪RGA的典型用途:
检漏
判断真空品质
检测工艺气体
提高品质和良品率
故障诊断分析
判断低温泵再生周期
产品类别
产品系列分别提供了100、200、300原子质量单位的解决方案。
LEYSPEC view版特别适用于高真空设备，科研、环境气氛检测及追踪中的残余气体分析。
LEYSPEC ultra版用于复杂的残余气体分析，灵敏度高，耐烘烤温度高，可检分压低。
更多信息请联系莱宝官方授权：安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com
安博元科技无锡有限公司
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莱宝LEYSPEC残余气体分析仪RGA 客户受益：
过程可控
LEYSPEC自带数显，易于现场管理
赠送软件易于使用及分析并有报警功能
莱宝LEYSPEC残余气体分析仪RGA的典型应用：
半导体生产设备
镀膜、显示行业
真空热处理
真空干燥
研发
Leybold Name | LEYSPEC view 100 | LEYSPEC view 100S | LEYSPEC view 200 | LEYSPEC view 200S | LEYSPEC ultra 200S | LEYSPEC ultra 300S |
Mass Range (amu) | 1-100 | 1-100 | 1-200 | 1-200 | 1-200 | 1-300 |
Mass filter type | QMS | QMS | QMS | QMS | QMS | QMS |
detector type | Faraday cup | EM/Faraday Cup | Faraday cup | EM/Faraday Cup | EM/Faraday Cup | EM/Faraday Cup |
Sensitivity (A/mbar) | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 400/2.5x10-4 | 400/2.5x10-4 |
Minimum detectable | 1x10-10 | 1x10-14 | 1x10-10 | 1x10-14 | 1x10-11 | 1x10-12 |
Max operating pressure (mbar) | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 |
Filament material | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 |
operating temp (°C) | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 |
Max sensing temp (°C) | 120 | 120 | 120 | 120 | 250 | 250 |
Max. bake out temp (elec. removed) (°C) | 250 | 250 | 250 | 250 | 300 | 300 |
connection flange | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF |
Power input | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W |
Weight (kg) | 2,6 | 2,84 | 2,6 | 2,84 | 3,21 | 3,21 |
IP | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
Serial communication | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 |
Software | ECA | ECA | ECA | ECA | ECA | ECA |
Resolution | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) |
