产品/Leybold
W2800/2800CT/2800/3200CT TURBOVAC MAG digital磁悬浮复合分子泵
TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CTW 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)典型应用- 半导体工业，诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺- 进样室，转移室- 粒子加速器- 科研- 镀膜系统技术特点- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统- 轴承系统的数字监控- 噪声和振动低- 任意方向安装- 先进的转子设计，实现高抽速和高前级耐压- 智能电源控制系统- CT版集成温度管理系统（TMS）- C版耐腐蚀客户得益- 免...
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TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT
W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)
典型应用
- 半导体工业，诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺
- 进样室，转移室
- 粒子加速器
- 科研
- 镀膜系统
技术特点
- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统
- 轴承系统的数字监控
- 噪声和振动低
- 任意方向安装
- 先进的转子设计，实现高抽速和高前级耐压
- 智能电源控制系统
- CT版集成温度管理系统（TMS）
- C版耐腐蚀
客户得益
- 免维护
- 所有工艺气体都有高气载量
- 极限低，抽速高
- 前级耐压高
- 同类中重量较轻，尺寸较小
- 耐粉尘
- 温控达 90 °C (194 °F)，避免沉积物
（CT版）
- 高耐腐蚀性-CT版
- 气体吹扫系统
更多信息请联系莱宝官方授权：安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com
技术特点
- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统
- 轴承系统的数字监控
- 噪声和振动低
- 任意方向安装
- 先进的转子设计，实现高抽速和高前级耐压
- 智能电源控制系统
- CT版集成温度管理系统（TMS）
- C版耐腐蚀
客户得益
- 免维护
- 所有工艺气体都有高气载量
- 极限低，抽速高
- 前级耐压高
- 同类中重量轻，尺寸小
- 耐粉尘
- 温控达 90 °C (194 °F)，避免沉积物
（CT版）
- 高耐腐蚀性-CT版
- 气体吹扫系统
更多信息请联系莱宝官方授权：安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com
典型应用
- 半导体工业，诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺
- 进样室，转移室
- 粒子加速器
- 科研
- 镀膜系统
更多信息请联系莱宝官方授权：安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com
技术参数 | TURBOVAC MAG | |||||||
W 2800 C | W 2800 CT W 2800 | W 3200 CT | ||||||
进气口 | DN | 250 ISO-F | 250 ISO-F | 250 CF | 320 ISO-F | |||
PNEUROP的抽速 | ||||||||
氮气 | I x s-1 | 2650 | 2650 | 2650 | 3200 | |||
氩气 | I x s-1 | 2450 | 2450 | 2450 | 3000 | |||
氦气 | I x s-1 | 2650 | 2650 | 2650 | 3000 | |||
氢气 | I x s-1 | 2100 | 2100 | 2100 | 2250 | |||
额定转速 | min-1 | 28 800 | 28 800 | 28 800 | 28 800 | |||
压缩比 | ||||||||
氮气 | 1 x 108 | 1 x 108 | 1 x 109 | 1 x 108 | ||||
极限压强，根据 DIN 28 400 | mbar | < 10-8 | < 10-8 | < 1 x 10-10 | < 10-8 | |||
(Torr) | (< 0 75 x 10-8) | (< 0 75 x 10-8) | (< 0 75 x 10-10) | (< 0 75 x 10-8) | ||||
前级耐压（对氮气）对流冷却时 水冷却时 | mbar (Torr)mbar (Torr) | – 2 0 (1 5) | – 2 0 (1 5) | 0 3 (0 23) 3 0 (2 3) | – 2 0 (1 5) | |||
推荐的前级泵 | ||||||||
抽速达100 m3/h的旋片泵或干泵 | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | TRIVAC D 65 BCS | ||||
启动时间 | min | < 10 | < 10 | < 10 | < 10 | |||
出气口外形尺寸 | DN | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | 40 ISO-KF | |||
吹扫和破空口 | 1/4" VCR | 1/4" VCR | DN 10/16 | 1/4" VCR | ||||
冷却水接口 | Swagelok tube | 1/4" | 1/4" | 1/4" | 1/4" | |||
重量（近似） | kg (lbs) | 64 (141 3) | 64 (141 3) | 75 (165 6) | 65 (143 5) | |||
更多信息请联系莱宝官方授权：安博元科技 0510-8510-0806 info@anboyuan.com
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