如果真空系统无法达到设计极限压强或经很长时间才能达到极限压强,可能存在的原因如下:
如果设计极限压强无法达到,可能的原因如下:
1. 真空装置可能存在泄漏或污染
2. 真空泵/机组系统可能污染或损坏
3. 真空计有缺陷
如果设计极限压强要真空泵/泵组运行很长时间才能缓慢达到,可能的原因如下:
1. 真空装置可能存在泄漏或污染
2. 真空抽气管路设计不合理
3. 真空泵/机组系统可能污染或真空泵选型有问题
4. 因其他原因导致的真空泵/泵组抽速受限
为找到真空系统无法达到或缓慢达到设计极限压强的原因,可能的话,把真空室从泵组系统脱离,使用加压方式检查真空室是否泄漏或有污染物。如真空室没有问题,再检查测量系统清洁度。后再检查真空泵/真空泵系统。
如经过以上方法仍无法查到原因,请联系安博元技术支持人员tech@anboyuan.com。
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